真空装置自动控制常用名词汇术语

真空装置自动控制常用名词汇术语

要求实现控制的真空装置或生产过程，称之为被控制对象。例如真空阀、
2、测量装置
3、调节装置(调节器)
4、执行机构
差。如真空室中调节真空度的调节阀及调节加热温度的调功器均属此类机构。
系指被控制对象内要求实现控制的参数。例如:压力、温度、流量、膜厚等。
测量装置所测得的被控制量的实际值。
被控制量要求保持恒定或按预定规律变化的规定值。
测量值与给定值之差。
它是使被控制量产生变化的因素。扰动分两种:一种为控制系统内各个环节产生的扰动，称为内扰;另一种为控制系统以外对系统产生的干扰，称为外扰。
把输出信号送回到输人端，以增强或减弱输人信号的效应称为反馈。凡使输人信号增强者称为正反馈;反之，则称为负反馈。在自动控制系统中多采用负反馈。
12、位式调节
13、比例调节
14、比例积分调节
15、比例积分微分调节
16、比例放大倍数Kp增大Kp，可使静态偏差变小，但系统的稳定性变差;反之，则可提高系统的稳定性，但是，静态偏差变大。通常用调节器的比例放大倍数Kp的倒数8表示，称为比例度。
18、微分时间Td
19、稳定性
扰动消除后，系统能恢复原来的平衡状态的则是稳定的。
系指系统处于平衡状态时，被控制量与给定值的偏差(即静态偏差)。
系指系统在随时间变化的给定信号作用下所具有的精度。在定值系统中，动态精度就是过渡过程最大动态偏差。
自动控制装置和被控制对象组成自动控制系统，它能够使被控制对象按预定的规律动作，自动完成真空工艺过程。如镀膜机微机控制系统等。