罗茨真空泵,一种旋转式容积真空泵,其设计灵感源自罗茨鼓风机。这种泵于1944年首次在德国问世,主要用于在10~1000Pa压力范围内的真空熔炼系统,作为机械增压泵使用。
罗茨真空泵根据工作压力范围的不同,可分为直排大气的低真空罗茨泵、中真空罗茨泵(机械增压泵)以及高真空多级罗茨泵。在国内,中真空罗茨泵(以下简称罗茨泵)的使用量最大。
罗茨泵相较于其他油封式机械泵,具有以下显著特点:
在较宽的压力范围内,罗茨泵能保持较大的抽速;
转子具有良好的几何对称性,因此振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,无需润滑,摩擦损失小,可以大幅降低驱动功率,从而实现较高转速;
泵腔内无需用油密封和润滑,可以减少油蒸气对真空系统的污染;
泵腔内无压缩,无排气阀,结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
压缩比较低,对氢气抽气效果差;
转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
近年来,罗茨泵在国内外得到了快速发展,已在冶炼、石油化工、电工、电子等行业得到广泛应用。
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