目前公转型多为双腔卧式泵,而回转型多为单腔立式泵。其工作原理如图8所示,气体从周边吸入向中心压缩由中间排气,实现连续吸气,压缩和排气的整个抽气过程。这种泵压缩平稳、驱动力矩变化小,故振动小、噪音低(60dB(A)),相邻的二个月牙腔容积的压差小,故间隙泄漏也小,而且端面有密封,可得到较高的压缩比,这种泵从大气压抽到极限压力1~1021Pa,泵的抽速为20~50m3/h,它是一种节能型产品,市场已有出售。
涡旋型干式真空泵的工作原理涡旋干泵真空泵的工作原理及注意事项
涡旋真空泵是新一代的无油机械泵,它具有结构简单,密封性能好,极限真空高等优点。作为一种高新技术产品,涡旋式干式真空泵在设计、制作方面都拥有非常高的技术含量,在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点,在无油清洁应用领域有着不可比拟的优势,因此受到市场的高度推崇。GVD、GSP 系列涡旋干泵是鲍斯真空针对国内外市场下游应用特点而推出的性能卓越、价格竞争优势明显的涡旋干泵。
应用领域
普通清洁真空获得应用、分子泵前级泵、实验室真空系统、分析仪器、真空检漏 /He 质谱检漏、光束线 / 高能物理、科学研究、临床医疗设备、蒸馏 /萃取 / 过滤、激光、气体回收和再循环、半导体(LED/LCD 长晶炉)、光伏(单晶炉 / 多晶炉 )、镀膜(PVD/CVD)、工业 / 电池生产、手套箱 / 排气台、电子束焊接 / 激光焊接。
涡旋型干式真空泵以其转动方式不同,分为两种型式:一种是一个涡旋固定不动(称为静涡旋),另一个涡旋围绕着它公转平动而不能自转(称为动涡旋)的公转型(Orbiting type);另一种是两个涡旋同步同方向各自绕自身轴转动的回转型(Rotat ingtype)它的两个涡旋都是动涡旋。
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